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半導體微量光子檢測顯微鏡 微光顯微鏡是捕獲半導體器件缺陷或失效點(diǎn)發(fā)射 微量光子的一種無(wú)損檢測設備。在電激勵作用下,電 子-空穴對或高能熱載子以光子的形式釋放出多余動(dòng) 能。根據此原理,利用高增益低噪聲的相機就能精確 定位到缺陷位置。EMMI系統C主要適用于PN結漏電、氧化層崩潰、 靜電放電破壞、閂鎖效應、碰撞電離和雪崩擊穿等多 種物理場(chǎng)景。